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Nanolithographie

Als Nanolithographie bezeichnet man ein Verfahren zur Erzeugung von Strukturen auf der Nanometerskala. Es dient unter anderem zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen.

[Bearbeiten] Weitere Anwendungsgebiete

• Mikroreaktoren
• DNA-Chip-Technologie
• Katalyse

[Bearbeiten] siehe auch

EUV-Lithografie, LIGA , Nanotechnologie

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